SCRD4

SCRD4

仕様

一般名: 超臨界乾燥装置

メーカー名: 株式会社レクザム Rexxam Co.

型番: SCRD4

装置概要: 超臨界状態の炭酸ガスを利用することで、脆い微細構造体を破壊することなく、洗浄および乾燥することが可能。

 使用流体 CO2

 使用圧力 14MPa

 使用温度 40℃

 チャンバー 内径φ110×26mm