JSM-7400F

仕様

一般名：　電界放出型走査電子顕微鏡
メーカー名：　JEOL Ltd.（日本電子株式会社）
型番：　JSM-7400F
二次電子分解能：　1.0nm（加速電圧15kV）
　　　　　　　　　1.5nm（加速電圧1kV）
倍率：　X25～X19,000（LMモード）
　　　　X100～X650,000（SEMモード）
加速電圧：　0.1kV～30kV
電子銃：　冷陰極電界放出型電子銃
試料ステージ：　ユーセントリックステージ
　　　　　　　　3軸モータードライブ（XYR）
試料移動範囲：　70mm（X）
　　　　　　　　50mm（Y）
　　　　　　　　1.5mm～25mm（Z、作動距離）
　　　　　　　　-5度～+70度（傾斜）
　　　　　　　　360度（回転）
検出器：　上方検出器（SEI像）
　　　　　下方検出器（LEI像）
反射電子検出器（COMPO像、TOPO像）

エネルギー分散型X線分析装置

一般名：エネルギー分散型X線分析装置（EDS）
メーカー名：　EDAX Ltd.
型番：　Genesis 4000
使用条件：　加速電圧20kV、作動距離10mm
検出元素：　Na～U
分析方法：　点分析（定性・定量分析）
　　　　　　線分析
　　　　　　面分析（元素マッピング）
　　　　　　液体窒素：必要（3L以上）