JEE-400

仕様

一般名：　真空蒸着装置
メーカー名：　JEOL Ltd.（日本電子株式会社）
型番：　JEE-400
到達真空度：　3E-4Pa以下（油回転ポンプ、油拡散ポンプ）
真空度測定：　ぺニング真空計、およびピラニ真空計
真空度表示：　ぺニング真空計
蒸着用電極：　2極
　　　　　　　カーボンホルダー
　　　　　　　ヒーターホルダー（アルミニウム、銅など）
ヒーター用電極：　AC100V、50A）
試料用シャッター：　有