UV253

仕様

一般名：　UVオゾンクリーナー UV253
メーカー名：　フィルジェン株式会社
型番：　UV253
極短波長の光(例：184.9nm)と酸素との反応によるオゾン発生と、短波長の光(例：253.7nm)の持つ化学結合解離効果とを組み合わせた光化学的酸化分解プロセスによって、湿式洗浄では除去することができずに基板に付着している有機汚染物質を除去する装置