UV-1
仕様
一般名： UVオゾンクリーナー UV DRY STRIPPER / CLEANER
メーカー名： サムコ株式会社
型番： UV-1
紫外線および高濃度オゾンの併用により、各種有機物の除去など半導体プロセスにおける光エネルギによる完全ドライ処理を目的とした装置
| 紫外線ランプ | 110W × 1 波長：2537Å および 1849Å |
| 基板 | φ200mm、AL製 |
| 基板温度 | 室温～300℃ |
| フローメータ | 酸素（0～1L/min) × 1 任意設定可能 |
| オゾナイザ | 無声放電方式 × 1 |
| タイマ | 0～99時間 0～59分まで任意設定可 |
| 外形寸法 | W400 mm × D450 mm × H400 ㎜ |
| 重量 | 43 kg |