SVC-700LEB

仕様

一般名：　電子ビーム蒸着装置　Electron Beam Evaporation System
メーカー名：　SANYU ELECTRON
型番：　SVC-700LEB

蒸着方式：　電子ビーム方式
E-GUN：　5kW 4連式
EB電源：　-10kV×500mA (Max)
チャンバー：　φ400mm×D400mm (SUS製・円筒型)
真空ポンプ：　TMP：260l/sec(@N2)　RP：100l/min
到達圧力：　10-4 Pa台
圧力測定：　ピラニー真空計/電離真空計
寸法・重量：　（本体）W744/D595/H1371mm　約230kg(RP別置)
（制御盤）W570/D800/H1750mm　約115㎏
所要電源：　（本体）単相100V　50/60Hz　3kVA
（制御盤）三相200V　50/60Hz　10kVA