SEDE-GE
仕様
一般名： ソフトプラズマエッチング装置
メーカー名： メイワフォーシス株式会社
型番： SEDE-GE
広範囲均一照射可能な卓上型エッチング装置
| 放電方式 | グロー放電 |
| パワー | 3～18 W |
| 試料ステージ | φ 80mm |
| 均一照射面積 | 55 % |
| 領域面積 | 28 cm2 |
| 使用可能ガス | 大気・酸素・アルゴン 他 |
| ポンプ容量 | 50 L/min |
| 最大消費電力 | 620 W |
| 設置サイズ | W367mm × D258 mm × H360 ㎜ |
| 重量 | 11 kg |
一般名： ソフトプラズマエッチング装置
メーカー名： メイワフォーシス株式会社
型番： SEDE-GE
広範囲均一照射可能な卓上型エッチング装置
| 放電方式 | グロー放電 |
| パワー | 3～18 W |
| 試料ステージ | φ 80mm |
| 均一照射面積 | 55 % |
| 領域面積 | 28 cm2 |
| 使用可能ガス | 大気・酸素・アルゴン 他 |
| ポンプ容量 | 50 L/min |
| 最大消費電力 | 620 W |
| 設置サイズ | W367mm × D258 mm × H360 ㎜ |
| 重量 | 11 kg |