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一般名: 4探針法抵抗率測定器メーカー名: ナプソン株式会社型番: RT-70V
シリコンウェハー、拡散層、ITO膜、メタル薄膜などの抵抗率、またはシート抵抗を直流4探針法により測定するテスターです。測定方式: 直流4探針法(探針間隔 1mm 変更可能)測定時間: 最速で約0.1秒(測定レンジ固定の場合)外形寸法: 横幅 250mm、奥行き 330mm、高さ 130mm