RC2-DI-SUY 

SpectroscopicEllipsometer

仕様

一般名: 分光エリプソメーター 偏光式物性評価システム
メーカー名: ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社
型番:  RC2-DI-SUY
波長範囲: DI: 193-1690nm 1075波長
データ取得時間: 0.3秒[最短] 1-2秒[通常]
測定ビーム径: ~3mm
入射角範囲:
 水平自動入射角:45° - 90°
 垂直自動入射角: 20° - 90° 
 集光専用機:65°

装置概要:
1.二重回転補償子型多入射角高速分光エリプソメーター RC2-D
 1)ダイオードアレイ式二重回転補償子型
 2)測定ダイナミックレンジ(Psi=0-90、Delta=0-360度)フルレンジ
 3)測定ミューラー行列データ:全16成分
 4)測定波長範囲:193-1000nm間の800波長を同時測定(数秒)
 5)装置制御および解析用コンピューター(英語版Windows)
 6)測定・解析ソフトウエアCompleteEASE(5ライセンス)
2.サンプル垂直置型自動入射角ゴニオメーター(入射角範囲:20-90度)
3.RC2近赤外域(NIR)拡張 (1005-1690nm間の275波長追加)
4.縦型ベース用マッピング用自動サンプルステージ(50mm x 50mm)
5.カメラオプション
6.集光オプション(集光径:約0.3mm、入射角:75度以下)
7.設置台
8.UPS