JSM-IT510LV

仕様

電子顕微鏡仕様

一般名：　走査電子顕微鏡　SEM
メーカー名：　JEOL 日本電子株式会社
型番：　JSM-IT510LV

分解能（高真空）：　3.0nm (30kV, WD8mm),  8.0nm (3kV, WD6mm),  15.0nm (1kV, WD6mm)
分解能（低真空）：　4.0nm (30kV, WD5mm)

検出器：　2次電子に加え、反射電子検出器付きなので凹凸像(TOPO)、組成像(COMPO)の観察可
真空モード：　高真空モード、低真空モード
フィラメント：　工場プリセンター（タングステン）フィラメント
加速電圧：　0.3kV~30kV
最大試料サイズ：　203.2mm径(装着可能)　177.8mm(全面観察可能)
X方向：　125mm
Y方向：　100mm
Z方向：　WD5~48mm
倍率：　x5-x300,000
試料室圧力調整範囲：　10Pa~650Pa
傾斜：　-10°~+90°
回転：　360°

エネルギー分散型X線分析装置（EDS）仕様

メーカー名：　JEOL 日本電子株式会社
EDS分析装置型番：　EX-74750U4L2Q
EDS検出元素：　Be~U
定性・定量分析：　可
線分析、元素マップ：　可
液体窒素：　不要