JSM-7610 & EDS

仕様

電子顕微鏡仕様

一般名：　エネルギー分散型X線分析装置付電界放出型走査電子顕微鏡　EDS&EBSD付 FE-SEM　Field-Emission Scanning Electron Microscope
メーカー名：　JEOL Ltd. （日本電子株式会社）
電子顕微鏡型番：　JSM-7610F
二次電子分解能：　1.0nm(加速電圧15kV)、1.3nm(加速電圧1kV GBモード)
　　　　　　　　　分析時3.0nm(加速電圧15kV、WD8mm、照射電流5nA)
倍率：　x25~x19,000(LMモード)、x130~1,000,000(SEMモード)
加速電圧：　0.1kV~30kV
電子銃：　インレンズショットキー電界放射型電子顕微鏡
試料ステージ：　5軸モーター駆動
試料移動範囲：　70mm（X）、50mm(Y)、1~40mm(Z)
　　　　　　　　傾斜-5~70°、回転360°
試料ホルダ：　12.5mmΦ☓10mmh、25mmΦ☓20mmh用
検出器：　上方＋下方検出器
　　　　　反射電子検出器 (組成COMPO、凹凸TOPO)
　　　　　透過電子検出器 (STEM (TED))
試料室カメラ：　有

エネルギー分散型X線分析装置（EDS）仕様

メーカー名：　JEOL Ltd. （日本電子株式会社）
EDS分析装置型番：　JED-2300F
EDS検出元素：　Be~U
定性・定量分析：　可
線分析、元素マップ：　可
液体窒素：　不要