DL-1000GS/SS

仕様

一般名：　マスクレス露光装置
メーカー名：　（株）ナノシステムソリューションズ
　　　　　　　　NanoSystem Solutions, Inc.
型番：　DL-1000GS/SS
注意事項：　クリーンルーム内にある装置です。　最低限のフード、ウエア、靴、手袋は準備しております。使用基準に満たない場合は、各研究室で準備をお願いいたします。
　　　　　　また薬品を使用する場合、そのMSDSに応じて防護メガネや対応したマスク等を着用ください。
設置場所：　09I25（豊洲校舎9F）