AFM5000Ⅱ 

AFM5000

仕様

一般名: 走査型プローブ顕微鏡 SPM (原子間力顕微鏡 AFM)
メーカー名: 株式会社 日立ハイテクサイエンス
制御部型番: AFM5000Ⅱ
ステージ部型番: AFM5100N
注意事項:
  試料をカンチレバーに近づける際には目を離さないでください。
スキャナ型式: FS-150N
移動量: 150μm
測定範囲: 500nm, 1μm, 2μm, 5μm, 10μm, 20μm, 50μm, 100μm四方から選択
分解能: 測定範囲の512分の1 (x方向は512分の1固定、y方向は最大512分の1)
垂直: 5μm
プローブホルダ: 自己検知ホルダ
プローブ(カンチレバー): PRC-DF40P(センサー内蔵型レバー)
測定モード: DFM(カンチレバーを加振する測定モード)なお、PM(位相測定)を含む

カンチレバー購入先

カンチレバーは高価なので、使用する研究室で準備をお願いいたします。
例えば下記で購入できます。
自己検知用センサー内蔵型カンチレバー
PRC-DF40P (10本入) 定価 約10万円
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株式会社 新興精機 東京営業所 廣瀬亮太様
住所 〒113-0033
   東京都文京区本郷2-25-5 角地ビル2F
TEL 03-5805-3966 FAX 03-5805-3967
E-mail: hirose@shinkouseiki.co.jp
URL: http://shinkouseiki.co.jp/
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測定例

AFM5000_sample1-300x134

エッチングしたSi基板の3D視点からの観察

AFM5000_sample2-300x134

エッチングしたSi基板の断面プロファイル

AFM5000_sample3-300x134

フィルムに堆積させた粒子の線粗さ解析と3D描画

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