ムハンマド アイマンさんが日本エアロゾル学会にて高橋幹ニ賞を受賞
2021/09/08
- 機械工学科


【受賞者】
ムハンマド アイマンさん(ポスドク)
【指導教員】
諏訪 好英 教授(機械工学科)
【大会名】
2021年度 日本エアロゾル学会
【賞名】
高橋幹ニ賞(英語論文賞)
【発表題目】
Study on the Installed Filter Leakage Evaluation Criterion for Particle Counter and Aerosol Photometer
(パーティクルカウンタとエアロゾルフォトメータによる設置フィルタのリーク判定基準に関する研究)
【研究目的】
クリーンルーム等において所定の空間清浄度を実現するためには、空気供給口に設置された高性能エアフィルタにリーク(漏れ)がないことを評価する試験が重要です。従来のISO等の国際基準では、使用する測定器(パーティクルカウンタとエアロゾルフォトメータ)によって、また評価対象とするエアフィルタのグレード(汚染粒子に対する捕集性能)によって、それぞれ異なるリーク判定基準が定められており、適用が非常に困難でした。本研究では、パーティクルカウンタとエアロゾルフォトメータの測定原理を理論的に考察し、すべての測定器、すべてのグレードの高性能エアフィルタに対して適用可能な統一的なリーク判定基準を検討しました。
【研究内容】
本研究では、理論的考察と数値シミュレーションにより、ほぼすべてのグレードのエアフィルタに対して測定器によらず、統一的に扱えるリーク判定基準とその適用条件を見出しました。これにより高性能エアフィルタのリーク試験が格段に適用しやすくなる可能性を見出しました。
【今後の展望】
本研究の成果はISO国際規格(ISO-14644 part3)の改訂にあたり全面的に採用され、高性能エアフィルタのリーク試験が大幅に簡素化されました。今後、さらに本試験法の精度向上やエアフィルタの設置方法や経年劣化に伴うリーク発生対策の検討につなげていきたいです。
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