岩田侑次郎さん、吉田慎哉教授が日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門優秀講演論文表彰を受賞

IWATA-Yujiro2 — 受賞者
岩田侑次郎さん（機械工学専攻）
吉田慎哉教授（工学部）

指導教員
吉田慎哉教授（工学部）

大会名

日本機械学会2025年度年次大会

賞名

日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門優秀講演論文表彰

発表題目

圧電薄膜特性がMEMS-BAWジャイロの性能に及ぼす影響の解析と共振子の試作

研究内容

本研究では、適した圧電材料の選定が圧電バルク弾性波(BAW)ジャイロの感度性能を向上させると考えた。そこでジャイロの原理に基づいて圧電材料定数を用いた感度に関する性能指標を定義し、その妥当性をシミュレーションから検証した。さらに性能指標から単結晶PZTが適した材料の一つであることを確認した。加えて単結晶PZTを用いたBAW共振子を作成するプロセスを開発し、作成した共振子の機械的共振を確認した。試作した共振子は大気圧中で600Hzの帯域幅と3000の機械的Q値という高い性能を示した。

研究目的
①圧電材料特性がジャイロの感度に与える影響を調査する。
②実際に適切な材料を用いた共振子を試作する。

今後の展望

今後はこのプロセスを発展させて、より適切な設計で作成した圧電BAW共振子の開発を目指す。