武井美緒奈さんが一般社団法人 表面技術協会 第139回講演大会において第25回学術奨励講演賞を受賞

【受賞者】武井 美緒奈 さん(材料工学専攻2年)
【指導教員】湯本 敦史 教授(材料工学科)
【学会・大会名(正式名称)】一般社団法人 表面技術協会 第139回講演大会
【賞名】第25回学術奨励講演賞
【発表題目】超音速フリージェットPVDによるフッ化イットリウム膜の成膜

超音速フリージェットPVDを用いた、フッ化イットリウム単相で構成された緻密厚膜の作製。

超音速フリージェットPVDという新しい成膜技術を使用し、今まで困難とされていたフッ化イットリウム単相で構成される緻密厚膜 の成膜を達成いたしました。

本研究で作製したフッ化イットリウムは耐プラズマ性が良好であると期待されており、半導体製造過程で利用されているプラズマか ら装置自体を守る保護膜としての利用を目指しています。今後は、実際にプラズマを照射し、実際の耐プラズマ性がどれくらいである のかを評価検討していく予定です。

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