香取友樹さん、高鹿雄介さん、野中悠太郎さんが日本顕微鏡学会関東支部第43回講演会において最優秀ポスター賞を受賞

【受賞者】
・香取 友樹 さん(材料工学科研究生)
・高鹿 雄介 さん(材料工学科4年)
・野中 悠太郎 さん(材料工学科4年)
【指導教員】下条 雅幸 教授(材料工学科)
【学会・大会名(正式名称)】日本顕微鏡学会関東支部第43回講演会
【賞名】最優秀 ポスター賞
【発表題目】電子線照射を利用した機能性ナノ粒子のマスクレスパターニング

現在の半導体集積回路はリソグラフィー法で微細なパターンを作製している。リソグラフィ ー法では、レジストの塗布、露光、現像、エッチング、レジストの除去など、数多くの工程が 必要である。そこで本研究では、ナノ粒子を全面に配置、所望の部分を電子線で固定、不要な 粒子の除去という3段階で任意のパターンを生成できる方法を開発した。その際に、電子線照 射によって損傷しやすい有機物や無機化合物粒子に対して、照射電流による影響を考察した。 その結果を用いて、本手法でエレクトロクロミック材料や有機物半導体材料をパターニングす ることに成功した。

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