上野 和良 教授(電子工学科)が応用物理学会において応用物理学会フェロー表彰を受賞しました。

【受賞者】上野 和良 教授(電子工学科)
【表彰タイトル】集積回路用の銅配線技術に関する先駆的研究

集積回路の配線として、従来はアルミニウム配線が用いられてきましたが、配線のサイズが小さくなるに従って抵抗が高くなる問題や、電流による断線などの故障リスクが増える問題が生じ、微細化できませんでした。その解決のために、アルミニウム配線に代わる低抵抗で高信頼な配線の実現が目的です。

アルミニウムよりも抵抗が低く、融点が高い銅を集積回路の配線として使うため、銅配線の構造や作製方法を先駆的に研究開発し、その性能を明らかにしました。

銅配線はスーパーコンピュータ用の集積回路に初めて応用されてから、現在は広く用いられ、電子機器の性能向上や多機能化につながっています。

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