武井 美緒奈 さん(材料工学専攻1年)が表面技術協会 第137回講演大会において学術奨励講演賞を受賞しました。

【受賞者】武井 美緒奈 さん(材料工学専攻1年)
【指導教員】湯本 敦史 准教授(材料工学科)
【発表題目】超音速フリージェットPVDによるオキシフッ化イットリウム膜の成膜

半導体製造過程ではプラズマが多く利用される。照射の際にシリコンウェハ以外のチャンバ内壁やチャンバ内部材もプラズマに曝され損耗してしまうため,それらを保護する耐プラズマ性の保護膜が用いられている。現在は膜材料としてイットリアが実用化されているが,フッ素含有ガス環境下でのプラズマ照射でイットリア膜表面がフッ化され,フッ化物を形成し,それらがパーティクル(ゴミ)となり製品に悪影響を及ぼす可能性が危惧されている。そこで本研究ではイットリアの代替材料としてオキシフッ化イットリウムを提案し,新規成膜技術である超音速フリージェットPVDを用いて成膜し,作製した膜の評価検討することを目的とした。

超音速フリージェットPVDという新規成膜技術によって,オキシフッ化イットリウム膜を作製し,45μmや100μm以上の厚膜の形成を確認した。また,成膜条件による成膜速度や硬さの検討を行った。

半導体製造過程でプラズマが使用される際の保護膜として実用化したい。そのためにまずは実際にプラズマを照射し,耐プラズマ性の評価を行いたい。

お問い合わせ先

芝浦工業大学
企画広報課

〒108-8548 東京都港区芝浦3-9-14(芝浦キャンパス 2階)
TEL:03-6722-2900/FAX:03-6722-2901
E-mail:koho@ow.shibaura-it.ac.jp